国内首条年产万吨级氧化物固态电解质产线正式量产!
2026-06-05在“智能产业产品展—先进装备制造展”线上虚拟展馆,上海微电子通过视频、图片、文字等形式展出了半导体产线搬运机器人等产品。半导体产线搬运机器人可自动搬运两个12寸FOUP(兼容8寸片盒),实现端到端全自动搬运,可兼容多种半导体工厂物料,在工厂不同区域进行运输,大幅提升物料搬运效率,降低人力搬运成本。
在“智能产业产品展—先进装备制造展”线上虚拟展馆,上海微电子通过视频、图片、文字等形式展出了半导体产线搬运机器人等产品。半导体产线搬运机器人可自动搬运两个12寸FOUP(兼容8寸片盒),实现端到端全自动搬运,可兼容多种半导体工厂物料,在工厂不同区域进行运输,大幅提升物料搬运效率,降低人力搬运成本。
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