智能装备 智慧领域 上海微电子装备获得2020年度上海科技进步二等奖

“高性能双脉冲激光退火设备研发与IGBT生产应用”获得2020年度上海市科技进步二等奖。

上海微电子装备(集团)股份有限公司(简称SMEE)主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。