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美国 HVA 真空闸阀 21200 系列
美国 HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列特别适合 1x10- 9 mbar 高真空和烘烤温度不超过 150°C的应用。超长使用寿命1,000,000 启动次数。清洁和高密封性保证 HVA 进口阀门与低温泵、涡轮分子泵，离子泵等完美联用。
HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列产品特点
直线驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器。独特的气缸设计使冲击和振动减少到最小。HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列真空腔内没有机械锁，因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业。所有移动的接头都有硬轴有效减少微粒的产生并且使驱动更容易。HVA 不锈钢阀体真空闸阀提供了真空阀门业界最小的内部表面区域。阀体和所有内部部件都是在1100 ℃，1x10E-6 Torr的真空炉中一体钎焊完成，确保了阀门的最大完整性。 在保养方面，支架部分可以拆掉而不用把真空阀门从整个系统中拆卸出来。阀门手动、气动可选，标准或定制法兰满足不同应用。HVA 标准周期真空闸阀21200 系列可任意位置安装。电磁阀控制并带有手动超控。
HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列技术参数
阀门材质： | |
阀门主体 | 304不锈钢 |
焊接波纹管轴封 | AM-350 |
驱动轴和驱动销 | 硬质不绣钢 |
密封件 | 氟橡胶 |
真空： | |
压力范围 | 1x10-9 mbar |
漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
差压关闭 | 1 bar (任意位置) |
开启前最大压力 | ≤ 30 mbar |
烘烤温度（不含电磁阀）： | |
佛橡胶密封 | 150 °c |
驱动方式 | 手动 60 °c;气动 60 °c |
使用寿命：1,000,000启闭次数 | |
公称通径：DN16-320 mm | |
HVA 百万周期真空闸阀 21200 产品订货号及2D,3D图展示
DN | Model | KF/ISO-F | ISO-K | CF-F* | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
mm | inch | Number | 3 (Bolted) | 6 (Clamped) | 0 or 4 (Conflat) | |||
16 | 0.625 | 21212-006_ | - | |||||
40 | 1.5 | 21212-015_R | - | |||||
50 | 2 | 21212-020_R | - | |||||
63 | 2.5 | 21212-025_R | 2D | |||||
80 | 3 | 21212-030_R | 2D | |||||
100 | 4 | 21212-040_R | 2D | |||||
160 | 6 | 21212-060_R | 2D | |||||
200 | 8 | 21212-080_R | 2D | |||||
250 | 10 | 21212-100_R | - | |||||
320 | 12 | 21212-120_R | - | |||||
HVA 百万周期真空闸阀 21200 产品部件图
美国 HVA 真空阀门-美国最大真空阀门制造商。美国HVA原装进口真空阀门，超过50年的高真空和超高真空阀门设计与制造。主营高真空闸阀，高真空角阀广泛应用于半导体、镀膜、激光、科研、工业等领域。上海伯东是美国HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商。
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